Главное


Проявление слоя фоторезиста. Сушка проявленного рельефа

Проявление заключается в удалении в зависимости от использованного типа фоторезиста экспонированных или неэкспонированных участков, в результате чего на поверхности подложек остается защитный рельеф - фоторезистная маска требуемой конфигурации.

Проявителем для форезиста служит растворитель MF - 319.

Концентрация проявителя должна быть минимальна и обеспечивать необходимую производительность процесса проявления. Уменьшение концентрации щелочного проявителя увеличивает контраст проявления, стабилизирует процесс переноса изображения и снижает его дефектность.

Процесс проявления должен обеспечивать точное воспроизведение элементов рисунка фотошаблона, полное удаление растворенных участков фоторезиста и отсутствие пор, проколов и других дефектов.

Сушка - задубливание проявленных участков слоя фоторезиста (сформированного рельефа рисунка) обеспечивает изменение в результате полимеризации его структуры. Вследствии этого повышается стойкость слоя фоторезиста к действию травителей и улучшается его адгезия к подложке.

Задубление слоя фоторезиста является второй сушкой и отличается от первой, выполняемой после его нанесения, более высокой температурой, порядка 110оС, и продолжается в течении 30 минут. (90 оС при первой сушке).

При повышенных температурах происходит пластическая деформация слоя фоторезиста.

Режим задубления и характер повышения температуры заметно влияют на точность передачи размеров элементов рисунка. Так как резкий нагрев вызывает оплавление границ рисунка, для точного формирования элементов повышать температуру следует плавно или ступенчато.

Другие статьи по теме

Интеллектуальная система управления Умный дом
Умный дом - это неотъемлемый атрибут любого современного жилища, в котором так много различных инженерных систем: освещение, силовая электрика, отопление, вентиляция, конди ...

Исследование эффективности и путей совершенствования алгоритмов регулирования мощности в системах сотовой связи различных стандартов
Влияние технологий мобильной̆ связи на нашу жизнь переоценить невозможно. Мобильная связь рассматривается в настоящее время как необходимость, а технологии мобильной̆ свя ...

Диспетчерская централизация на базе комплекса технических средств Неман
Диспетчерская централизация (ДЦ) - это комплекс устройств железнодорожной автоматики и телемеханики, состоящий из автоблокировки на перегонах, электрической централизации стрелок ...

www.techspirit.ru © 2021