Главное


Нанесение и сушка слоя фоторезиста

Нанесенный на предварительно подготовленную поверхность подложек слой фоторезиста должен быть однородным по толщине по всему их полю, без проколов, царапин (т.е. быть сплошным) и иметь хорошую адгезию.

Наносится слой фоторезиста на подложки в обеспыленной среде, соблюдая технологические режимы. Перед употреблением фоторезист необходимо профильтровать через специальные фильтры, а в особо ответственных случаях обработать на центрифуге при частоте вращения 10 - 20 тыс.об/мин в течение нескольких часов. Это делают для того, чтобы удалить из фоторезиста инородные микрочастицы размером менее 1 мкм, которые могут привести к браку фоторезистивного слоя. Кроме того необходимо проверить вязкость фоторезиста и довести его до нормы.

Для нанесения слоя фоторезиста на подложки используется метод центрифугирования.

Для окончательного удаления растворителя из слоя фоторезиста его просушивают. При этом уплотняется молекулярная структура слоя, уменьшаются внутренние напряжения и повышается адгезия к подложке. Неполное удаление растворителя из слоя фоторезиста снижает его кислотостойкость. Для удаления растворителя подложки нагревают до температуры, примерно равной 90 оС. Время сушки составляет 30 мин.

Температура и время сушки значительно влияют на такие важные параметры, как время их экспонирования и точность передачи размеров элементов после проявления. Большое значение при сушке имеет механизм подвода теплоты. Метод сушки - конвекционный.

Высушенный слой необходимо экспонировать не позднее чем через 10 ч. Сушку подложек следует выполнять в тщательно обеспыленной среде 10-го и

-го классов частоты. Контролируют качество сушки визуально или под микроскопом.

Другие статьи по теме

Генератор гармонических колебаний RC-типа с мощным выходным каскадом
Значительный прогресс в развитии многих областей науки и техники обусловлен развитием электроники. В настоящее время невозможно найти какую-либо отрасль промышленности, в которой не испо ...

Электропреобразовательные устройства РЭС
Курс «Электропреобразовательные устройства РЭС» является одной из первых инженерных дисциплин специальности «Радиотехника», обеспечивающей подготовку радиоинженера в области силовых рад ...

История развития пожарной автоматики
В современном обществе огромное внимание уделяется созданию систем пожарной безопасности объектов, которые предназначены для защиты жизни людей и материальных ценностей от огня. Ведь опа ...

www.techspirit.ru © 2021