Главное


Технологический процесс производства микроакселерометра

Микромеханический акселерометр, разработанный в дипломном проекте, имеет простое конструктивное оформление и протравливается по одному из вариантов «поверхностной» (surface) технологии, применяемой в производстве МЭМС.

Отличительной особенностью этих МЭМС является то, что их конструкционные элементы представляют собой осаждаемые пиролитически или из газовой среды тонкие плёнки поликремния, а также нитрида Si3N4 и оксида кремния SiO2. Толщина этих плёнок, а следовательно и элементов конструкции этих МЭМС не превышает по технологическим причинам 10мкм. Как правило, она составляет 2-5 мкм. Таким образом «поверхностная» технология позволяет создавать МЭМС на порядок меньше по размерам, по сравнению с МЭМС, изготовленными по технологии травления.

Конструкция разработанного акселерометра включает три основных элемента:

основание - фрагмент стандартной монокристаллической кремниевой пластины (толщина 1000-2000 мкм) покрытого изолирующей плёнкой из нитрида кремния Si3N4 (толщина 0,5-0,8 мкм)

рама из поликристаллического кремния, закрепленная в 6ти точках на основании, технологически интегрированная с чувствительным элементом

неподвижные обкладки емкостного датчика положения

Принципы работы такого одноосного акселерометра состоят в следующем:

при ускоренном движении основания (подложки), в случае, если вектор ускорения имеет составляющую, совпадающую с осью чувствительности акселерометра, чувствительный элемент под действием силы инерции отклоняется вдоль оси чувствительности. В U -образных элементах упругого подвеса ЧЭ возникает противодействующая упругая сила, пропорциональная перемещению, пропорциональная силе инерции и, естественно, ускорению объекта.

Конструктивно объединённые с ЧЭ подвижные пластины емкостного датчика смещаются при этом относительно неподвижных обкладок, расположенных на основании.

Акселерометр этой конструкции может работать как в режиме прямого измерения (разомкнутый режим), так и по компенсационной схеме (в режиме с обратной связью по отклонению чувствительного элемента).

Другие статьи по теме

Измерение параметров радиолокационного сигнала
Исходные соотношения. Критерий оптимальной оценки параметров сигнала: Пусть на вход приемника поступает аддитивная смесь сигнала и шума: ; где: - вектор случайных ...

Анализ существующей ВОЛС компании ЗАО Мобиком-Хабаровск в Забайкальском крае
Процесс глобального развития информатизации общества происходит колоссальными темпами. С каждым годом значительно увеличивается объем потоков передаваемой информации. Вместе с тем повыш ...

Анализ систем видеонаблюдения
Система видеонаблюдения - система аппаратно-программных средств, с целью видеонаблюдения. Сегодня системы видеонаблюдения являются одним из самых эффе ...

www.techspirit.ru © 2019