Главное


Методика расчета коэффициента демпфирования

В разработке присутствуют два механизма демпфирования.

) Внутреннее демпфирование вызвано перемещениями структурных слоёв.

) Вязкое воздушное демпфирование, которое, при атмосферном давлении, является величиной на несколько порядков более высокой, чем внутреннее. Демпфирование, вызванное воздушным потоком, между подвижными и неподвижными зубцами гребенки, а также на краях чувствительного элемента - это главный источник демпфирования.

Так как чувствительный элемент находится выше подложки, демпфирование потоком Кутта, появляющееся в результате движения воздуха между параллельными пластинами, является относительно малым. Для акселерометра демпфирование газовой пленкой, которое происходит, когда изменяется воздушный зазор между двумя близко расположенными параллельными поверхностями, также не является ощутимо высоким. Поток Хагена - Пуазейля, описывает демпфирование в узких зазорах. Коэффициент демпфирования между статором и зубцом гребенки вычисляют по формуле:

(1,2)

Где μ - эффективная вязкость воздуха, t - толщина зубца гребенки, d - зазор зубца гребенки, и l - длина зубца гребенки. При 760 мм.рт.ст.20oC μ = 1.56e-5 кг/м.с. Для симметричной разработки с 28 щелями, расчетный коэффициент демпфирования - 2.7x10-6кг/с, и соответствующая ему добротность Q = 7, которая является близкой к взвешенному значению Q = 8. Уменьшение коэффициента демпфирования, изменением размера зубца гребенки или зазора разнится с задачей увеличения чувствительности. Вакуумная упаковка может значительно уменьшить демпфирование и увеличить добротность.

Другие статьи по теме

Характеристики сигналов в каналах связи
Беспроводные сети. Беспроводная Ethernet. Существует несколько технологий беспроводных сетей, использующих как радио-, так и инфракрасные волны. Эти технологии существуют уже несколько лет ...

Зоновая РРЛ прямой видимости Рязань-Ряжск
канал профиль интервал Радиорелейные линии занимают прочное место в сети связи РФ. Они широко используются для передачи сигналов многоканальной телефонии, телевидения, звукового вещания, ...

Генератор последовательности чисел
Тема является весьма актуальной в настоящее время. Так как во многих областях науки и техники (электроника, электротехника, приборо- и машиностроение) необходимо использование генераторо ...

www.techspirit.ru © 2021