Главное


Методика расчета коэффициента демпфирования

В разработке присутствуют два механизма демпфирования.

) Внутреннее демпфирование вызвано перемещениями структурных слоёв.

) Вязкое воздушное демпфирование, которое, при атмосферном давлении, является величиной на несколько порядков более высокой, чем внутреннее. Демпфирование, вызванное воздушным потоком, между подвижными и неподвижными зубцами гребенки, а также на краях чувствительного элемента - это главный источник демпфирования.

Так как чувствительный элемент находится выше подложки, демпфирование потоком Кутта, появляющееся в результате движения воздуха между параллельными пластинами, является относительно малым. Для акселерометра демпфирование газовой пленкой, которое происходит, когда изменяется воздушный зазор между двумя близко расположенными параллельными поверхностями, также не является ощутимо высоким. Поток Хагена - Пуазейля, описывает демпфирование в узких зазорах. Коэффициент демпфирования между статором и зубцом гребенки вычисляют по формуле:

(1,2)

Где μ - эффективная вязкость воздуха, t - толщина зубца гребенки, d - зазор зубца гребенки, и l - длина зубца гребенки. При 760 мм.рт.ст.20oC μ = 1.56e-5 кг/м.с. Для симметричной разработки с 28 щелями, расчетный коэффициент демпфирования - 2.7x10-6кг/с, и соответствующая ему добротность Q = 7, которая является близкой к взвешенному значению Q = 8. Уменьшение коэффициента демпфирования, изменением размера зубца гребенки или зазора разнится с задачей увеличения чувствительности. Вакуумная упаковка может значительно уменьшить демпфирование и увеличить добротность.

Другие статьи по теме

Исследование систем автоматического управления
Целью выполнения курсовой работы по курсу ''Теория автоматического управления'' является - закрепление теоретических знаний и приобретение навыков самостоятельного решения расчетно-иссл ...

Многофункциональное приемопередающее устройство диапазона 433 МГц
В настоящее время многие зарубежные и отечественные производители микросхем имеют в своей линейке продуктов однокристальные ресиверы или приемопередатчики с возможностью работы как с одн ...

Преобразователь двоичной последовательности из фиксированного числа байт в ЧМ-сигнал
Микроконтроллер (MCU) - микросхема, предназначенная для управления электронными устройствами. Типичный микроконтроллер сочетает в себе функции процессора и периферийных устройств, може ...

www.techspirit.ru © 2019