Главное


Краткое описание конструкции акселерометра

Акселерометр - инерциальный датчик, применяемый для измерения линейных ускорений. Многие МЭМС акселерометры используют емкостную схему определения ускорения. Упрощенная схема емкостного акселерометра показана на рисунке 2.

Центральная часть акселерометра - подвешенная масса, которая выступает в качестве чувствительного элемента. Когда акселерометр подвергается воздействию сил инерции, чувствительный элемент вместе с подвешенными обкладками смещается относительно подложки тем самым, разбалансируя ёмкость C1 и C2, как показано на рисунке 2.

Рисунок 2. Схема емкостного акселерометра

Система обратной связи используется при регулировании в замкнутом режиме или при проведении самодиагностики.

Рабочие характеристики проектируемого акселерометра - чувствительность, которая определяется как соотношение выходного напряжения к входному ускорению, минимальное измеряемое ускорение, максимальное обнаруживаемое ускорение (диапазон), ширина полосы частот пропускания. При проектировании должны учитываться ограничения данного технологического процесса, такие как размеры устройства и минимальное разрешение. Разработка должна удовлетворять всем техническим условиям и ограничениям.

Рисунок 3. Топология емкостного акселерометра поперечных ускорений

Поперечный акселерометр может быть изготовлен по технологии от MCNC или же по технологии iMEMS от Analog Devices. В обеих технологиях, в качестве структурного материала используется поликристаллический кремний из-за его высоких механических свойств. Топология емкостного акселерометра поперечных ускорений показана на рисунке 3.

Другие статьи по теме

Интеллектуальная система управления Умный дом
Умный дом - это неотъемлемый атрибут любого современного жилища, в котором так много различных инженерных систем: освещение, силовая электрика, отопление, вентиляция, конди ...

Исследование и разработка конструкции широкополосного симметрирующего устройства
На сегодняшний день развитие НТП (научно технический прогресс) в области электроники все чаще приводит к созданию новых типов электронных приборов и к возможности проектирования на их ос ...

Преобразователь двоичной последовательности из фиксированного числа байт в ЧМ-сигнал
Микроконтроллер (MCU) - микросхема, предназначенная для управления электронными устройствами. Типичный микроконтроллер сочетает в себе функции процессора и периферийных устройств, може ...

www.techspirit.ru © 2021