Главное


Рисунки отображающие технологию изготовления кристалла

Рисунок 6.1 - Схемы контактного (а) и проекционного (б) экспонирования:

- ртутная лампа; 2 - конденсор; 3 - фотошаблон, 4 - фоторезист;

- подложка; б - столик, 7 - светофильтр; 8 - объектив.

Рисунок 6.2 Технологическая схема изготовления ИС на ni-n-n+-GaAs

Рисунок 6.3 - Схема реактора для химического (радикального) травления:

- СВЧ генератор; 2 - плазма; 3 - разрядная трубка; 4 - реактивный газ4

- волновод; 6 - транспортная труба с нейтральными радикалами;

- реактор; 8 - подложка; 9 - откачка

Заключение

В ходе данной работы был спроектирован двухкаскадный усилитель, соответствующий характеристикам, описанным в задании. Усилитель обеспечивает усиление более чем на 25 дБ в полосе частот от 1 ГГц до 3 ГГц. Так же разработана технология изготовления интегральной микросхемы.

При изучении влияния зависимость коэффициента шума от частоты при изменении ширины затвора от 10 до 30 мк м, нашли оптимальную ширину затвора 30 мк м.

В работе были использованы следующие программы: PSpice, MathCAD, Microsoft Word 2003, Microsoft Exel 2003, Adobe Photoshop.

Приложения

Фотошаблон №1, травление n+ слоя

Фотошаблон №2, травление n слоя

Фотошаблон №3, нанесение омических контактов

Фотошаблон №4, подтравление n слоя, нанесение барьерного материала

Фотошаблон №5, формирование нижних обкладок конденсатора

Фотошаблон №6, формирование окон в первом слое диэлектрика

Фотошаблон №7, первый слой металлизации

Фотошаблон №8, вскрытие окон во втором диэлектрике

Фотошаблон №9, вторая металлизация

Другие статьи по теме

Малошумящий усилитель с устройством защиты входа от просачивающейся высокой мощности СВЧ
При интенсивной эксплуатации радиолокационных станций (РЛС) рано или поздно встает вопрос об их ремонте, техническом обслуживании и замене выработавших ресурс комплектующих, включая мал ...

Волноводно-щелевая антенна нерезонансного типа
волноводный щелевой антенна Щелевые антенны применяются для передачи энергии из одного волновода в другой, для излучения энергии во внешнее пространство. Компактность и возм ...

Антенно-фидерные устройства
«Хорошая антенна - лучший усилитель высокой частоты» Радиосвязь между двумя пунктами, расположенными на поверхности Земли осуществляется пространственными и поверхностными волнами. ...

www.techspirit.ru © 2019