Главное


Рисунки отображающие технологию изготовления кристалла

Рисунок 6.1 - Схемы контактного (а) и проекционного (б) экспонирования:

- ртутная лампа; 2 - конденсор; 3 - фотошаблон, 4 - фоторезист;

- подложка; б - столик, 7 - светофильтр; 8 - объектив.

Рисунок 6.2 Технологическая схема изготовления ИС на ni-n-n+-GaAs

Рисунок 6.3 - Схема реактора для химического (радикального) травления:

- СВЧ генератор; 2 - плазма; 3 - разрядная трубка; 4 - реактивный газ4

- волновод; 6 - транспортная труба с нейтральными радикалами;

- реактор; 8 - подложка; 9 - откачка

Заключение

В ходе данной работы был спроектирован двухкаскадный усилитель, соответствующий характеристикам, описанным в задании. Усилитель обеспечивает усиление более чем на 25 дБ в полосе частот от 1 ГГц до 3 ГГц. Так же разработана технология изготовления интегральной микросхемы.

При изучении влияния зависимость коэффициента шума от частоты при изменении ширины затвора от 10 до 30 мк м, нашли оптимальную ширину затвора 30 мк м.

В работе были использованы следующие программы: PSpice, MathCAD, Microsoft Word 2003, Microsoft Exel 2003, Adobe Photoshop.

Приложения

Фотошаблон №1, травление n+ слоя

Фотошаблон №2, травление n слоя

Фотошаблон №3, нанесение омических контактов

Фотошаблон №4, подтравление n слоя, нанесение барьерного материала

Фотошаблон №5, формирование нижних обкладок конденсатора

Фотошаблон №6, формирование окон в первом слое диэлектрика

Фотошаблон №7, первый слой металлизации

Фотошаблон №8, вскрытие окон во втором диэлектрике

Фотошаблон №9, вторая металлизация

Другие статьи по теме

Моделирование и оценка производительности работы защищенных каналов в корпоративных сетях
В первое поколение (1945-1954) развития компьютерной техники, Клод Шеннон (создатель теории информации), Алан Тьюринг (математик, разработавший теорию программ и алгоритмов) и Джон фон Н ...

Анализ прохождения периодического сигнала через LC-фильтр с потерями
Дисциплина "Основы теории цепей" является важнейшей дисциплиной в подготовке специалиста направления "Радиотехника". Данный курс лекций помогает студентам приобретать ...

Анализ на безопасность платы ТС2 ЦП ДЦ Минск
цифровая схема моделирование интерфейсный Одним из эффективных инструментов проверки безопасности системы (элементов) является физическое и (или) логическое (имитационное) модел ...

www.techspirit.ru © 2021