Главное


Технологические расчеты

Расчет технологической точности пленочных элементов микросхем.

В основу расчета точности положены функциональные связи выходных параметров пассивных тонкопленочных элементов с электрофизическими параметрами пленок и геометрическими размерами.

R=R–

Расчет резисторов

№ R, ОмR–,

ОмL, ммB, ммСреднестатистические параметры

 

R–, Ом

3sR, Ом

Lср, мм

3sLср, мм

Bср, мм

3sBср, мм

R1

16900510000±50050910000510500,00890,014

R2

16905500±254,90,75002660,008110,01

Для R1:

(R–)ту = 500 Ом

(L)ту = 0,005 мм

(В)ту = 0,005 мм

Для R2:

(R–)ту = 25 Ом

(L)ту = 0,005 мм

(В)ту = 0,005 мм

1) Определим коэффициент рассеяния:

, i = R–, L, B

Для R1:–=510/500=1,02=0,008/0,005=1,6=0,014/0,005=2,8

Для R2:–=26/25=1,04=0,008/0,005=1,6=0,01/0,005=2

2) Определим случайные относительные погрешности выходного параметра:

R– = 5%

Для R1:

L=0,005∙100/50=0,01

B=0,005∙100/9=0,055

Для R2:

L=0,005∙100/6=0,083

B=0,005∙100/11=0,045

3) Расчет технологических режимов изготовления тонкопленочных резисторов методом термовакуумного испарения.

Исходные данные:

R1=500 Ом∙мR2=900 Ом∙м

ТКС1= -1,3∙10-4ТКС2= -1,5∙10-4

Так как испаряемый материал - резистивный сплав РС-3710 мы использовали следующие формулы для расчета:

Перейти на страницу: 1 2 3

Другие статьи по теме

Исследование принципов технической реализации и эффективности сигналов с ортогональной частотной модуляцией
Практически для всех типов современных радиосистем передачи информации характерна многоканальная или параллельная передача, при которой по общему высокочастотному тракту радиосистемы пер ...

Характеристики воздушной зоны Богучанского центра органов внутренних дел
Гражданская авиация в России выполняет особую роль, являясь, с одной стороны, типичной подотраслью, реализующая транспортные услуги населению и иной клиентуре, а с другой стороны, осущес ...

Внедрение цифровой системы радиосвязи стандарта GSM-R на Белорусской железной дороге
цифровой радиосвязь сеть Основная цель обеспечения безопасности движения поездов - уменьшение количества случаев браков и аварий при повышении скоростей движения поездов, пропускной спосо ...

www.techspirit.ru © 2020